在光刻、清洗等领域中，标准气都能够起到非常好的干燥、置换等作用，另外在其他很多的领域中都有很重要的使用，下面我们就来看看氮气纯化的方法吧：
碳脱氧法
在碳载型催化剂作用下，普氮中之残氧和催化剂本身提供的碳发生反应，生成CO2。
反应式：C O2=CO2。
再经过后级除CO2和H2O获得下列组成的高纯氮气：N2≥99.999%，O2≤5×10-6，CO2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。
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在很多的领域中，标准气都有着非常重要的作用，比如说在集成电路制作中，它起到了保护气的作用，那么还有哪些地方可以使用到它呢？
标准气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。
显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。
在航天技术中，液氢加注系统须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
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很多人都听说过标准气这类特种气体，但是对于它的作用，一般只停留在工业领域中能够发挥作用，那么下面我们就来看看它还可以干什么吧：
作为冷冻剂在医院做去斑，包，豆等的手术时常常也使用，即将斑，包，豆等冻掉，但是容易出现疤，并不建议使用。
高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气。
用作铜管的光亮退火保护气体。
跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机的激光类气体。
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